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激光干涉儀-精度標定

激光干涉儀-精度標定

  • 分類：應用案例
  • 作者：
  • 來源：
  • 發布時間：2020-03-16
  • 訪問量：1

【概要描述】

激光干涉儀-精度標定

【概要描述】

  • 分類：應用案例
  • 作者：
  • 來源：
  • 發布時間：2020-03-16
  • 訪問量：1
詳情

　　采用英國雷尼紹的激光干涉儀和瑞典海克斯康的二次元等高精度標定儀調試工具。

　　激光干涉儀具有超高分辨率，可達0.001μm。我們對各運動軸進行高精度標定，絕對定位精度小于±1μm。重復定位精度小于±0.5μm。配合先進的龍門雙驅算法，為高精度微組裝工藝提供可靠保障。

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