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AMD系列 AR/VR/MR微型顯示器玻璃貼合設備
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AMD系列 AR/VR/MR微型顯示器玻璃貼合設備

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型號

AM-D

功能模塊

參數

貼放精度

±5/±10/±20μm

上下料系統

玻璃片和Wafer自動上料/tray盤自動上料

工作方式

在線全自動

校準系統

晶圓校準器

工作范圍

400*800mm

取放片系統

EFEM 機械手自動

貼裝器件尺寸范圍

0.2-2寸

涂膠系統

進口定制

被貼物

8寸、12寸晶圓

除泡系統

可控制時間和壓力

Wafertable

8寸、12寸

固化系統

UV固化

潔凈度

100級

光源

具有可編程 LED 光源

真空

-70~-90KPa

Wafer的固定方式

真空吸附

鍵合力控制

20-100g

監控相機（選配）

具有工藝觀察視頻系統

接入要求

220V/6.2KW/0.7Mpa壓縮空氣

外形尺寸及重量

2500X2480X2400mm/4000kg
上一個
無
下一個
無

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